压电声表面波传感器基本工作原理

详细内容

SAWS的转换元件是sAw振荡器基片，后者是由石英晶体、压电陶瓷或压电薄膜构成。当它受到多种物理、化学或机械微扰时振荡频率就发生变化，通道适当的设计使它仅对某一被测量敏感。出于sAw的振幅是随深度呈指数衰减的弹性波，敏感区就在表面薄层附近，因此sAws具有上述那些优点。